晶瑞電(dian)材：已啓動ArF（193）高端(duan)光刻膠研發，KrF光(guāng)刻膠完成中試(shi)
2025-12-13 08:19
12月13日，晶瑞電材(cai)在特定對象調(diao)研活動中表示(shi)，目前ArF(193)高端光刻(kè)膠研發工作已(yǐ)正式啓動，已完(wan)成光刻機、勻膠(jiao)顯影機、掃描電(dian)鏡、台階儀等設(shè)備購置，其中ASML1900Gi型(xíng)光刻機設備正(zhèng)在積極調試中(zhōng)。同時公🚶司正在(zai)積極㊙️開展對上(shàng)遊材料樹脂單(dan)體及配方的研(yan)究。
公司高端KrF(248)光(guang)刻膠已完成中(zhōng)試，建成了中試(shì)示範線，已進入(rù)客戶測試階段(duan)。近期已購得KrF光(guāng)刻機一台，可用(yòng)于KrF光刻膠的曝(pù)光測試，同時公(gong)司KrF光刻膠量産(chan)化生産線正在(zai)積極建設中。
據(ju)晶瑞電材表示(shi)，此前，公司已經(jīng)購得用于負膠(jiao)、g 線、i線、ArF 等 4 台光刻(kè)機，再加之此次(cì)購得的KrF光刻機(ji)，公司已經到位(wèi)5台光刻機。
來源(yuan)：晶瑞電材官網(wǎng)
此外據晶瑞電(dian)材透露，晶瑞(湖(hu)北)微電子材料(liao)項目一期目前(qian)正在設備安裝(zhuang)調試階段。
據悉(xī)，2025年12月，晶瑞電材(cái)(原晶瑞股份)發(fa)布公告稱，拟在(zài)湖北省🔆潛江👌市(shì)投資建設晶瑞(rui)(湖北)微電子材(cái)料項目，生産光(guāng)刻膠及其相關(guān)配套的功能性(xìng)材料、電子♉級雙(shuāng)氧🙇♀️水、電子級氨(ān)水等半導體及(ji)面🙇♀️闆顯示用電(diàn)子材料等，項目(mù)計劃總投資約(yue)爲人民币15.2億元(yuán)。
晶瑞電材在該(gāi)調研活動中還(hái)表示，受益于我(wǒ)國半導體材料(liào)行💞業國産替代(dài)進程提速，下遊(you)芯片廠商需求(qiú)增長，當前㊙️公司(si)主導産品半導(dao)體級光刻膠及(jí)配套材料、超淨(jing)高純試🏃🏻♂️劑、锂電(diàn)池材料等産銷(xiao)兩旺。
未來随着(zhe)公司 KrF 光刻膠測(cè)試完成并逐步(bù)量産、ArF 光刻膠研(yan)發成功并最終(zhōng)量産，以及公司(sī)南通、陝西、四川(chuān)⛹🏻♀️等基地新增的(de)高純硫酸、NMP、光刻(ke)膠等産品産能(neng)的逐步釋放，有(yǒu)望成爲公司新(xin)的利潤增長點(dian)。
