光刻膠 | 半(ban)導體高壁壘(lěi)核心材料

導(dǎo)言：光刻膠目(mu)前廣泛用于(yú)光電信息産(chan)業的微細圖(tú)形🐪線路加工(gōng)制作，光刻工(gong)藝的成本約(yue)占整個芯片(piàn)制造工藝的(de)35%，耗時占整個(gè)芯片工藝的(de)40%到60%，是半導體(ti)制造⭕中的核(he)心工藝。光刻(kè)膠材料約占(zhàn)芯片制造材(cái)料總成♍本的(de)4%，是半導體集(jí)成電路制造(zào)的核心材😘料(liào)。

 

中國光刻膠(jiao)市場增速高(gāo)于國際水平(ping)，據前瞻産業(yè)研🈚究✔️院數據(jù)，2019年我國光刻(kè)膠本土供應(ying)量約70億元，自(zi)2010年起👣複合增(zēng)速🤩達11%，遠高于(yu)全球增速，但(dan)本土供應量(liàng)在全球占比(bǐ)僅10%左右，且以(yǐ)已經實現國(guó)産替代的主(zhǔ)⭐要是中低💋端(duān)PCB光刻膠，LCD和半(bàn)導體領域的(de)光刻膠自給(gei)率極低。

 

光刻(ke)膠是圖形轉(zhuǎn)移介質，其利(lì)用光照反應(ying)後溶解☔度💋不(bu)同将掩膜版(ban)圖形轉移至(zhì)襯底上，主要(yào)由感光劑(光(guang)引發♉劑)、聚♍合(hé)劑(感光樹脂(zhi))、溶劑與助劑(jì)構成。

 

光刻膠(jiao)原材料主要(yao)爲樹脂、溶劑(ji)和其他添加(jia)劑。其中溶劑(jì)🔞質量占比最(zui)大，一般在80%以(yi)上。其他添加(jiā)劑質量占比(bi)雖不足🌂5%，卻是(shì)決定光刻膠(jiāo)特有性質的(de)關鍵材料，包(bao)括光敏劑、表(biǎo)面活性劑等(deng)材料。

 

在光刻(kè)工藝中，光刻(ke)膠被均勻塗(tu)布在矽片、玻(bo)璃和☀️金屬等(děng)不同的襯底(di)上，經曝光、顯(xiǎn)影和蝕刻等(deng)工序将掩膜(mo)版上的圖形(xing)轉移到薄膜(mo)上，形成與掩(yan)膜版完全對(dui)應的幾何圖(tu)形。

 

光刻膠可(ke)根據其下遊(you)應用領域分(fen)爲半導體光(guāng)刻♌膠👉、面闆光(guang)刻膠和PCB光刻(ke)膠三類。

 

半導(dǎo)體光刻膠

目(mu)前，KrF/ArF仍是主流(liu)的加工材料(liao)。光刻技術随(sui)着集成電路(lù)的發展經曆(lì)了從G線（436nm）光刻(ke)，H線（405nm）光刻，I線（365nm）光(guang)刻，到深紫外(wai)線DUV光刻（KrF248nm和ArF193nm）、193nm浸(jin)🔞沒式加多重(zhòng)成像技術（32nm-7nm），在(zài)到極端紫外(wai)線（EUV，＜13.5nm）光刻的發(fa)展，甚至采用(yong)非光學光刻(kè)（電子束曝光(guang)、離子束曝光(guāng)），以相應波長(zhǎng)爲感光波長(zhang)的各類光刻(ke)膠也應用而(er)生。

光刻膠市(shì)場行業集中(zhōng)度高。日本企(qǐ)業在半導體(tǐ)光刻膠領🚩域(yù)🧡占據絕對優(yōu)勢。半導體光(guāng)刻膠主要生(shēng)産企業包括(kuo)日本東京應(yīng)化、JSR、住友化學(xue)、信越化學；韓(hán)國東進世美(měi)肯；美國陶氏(shì)杜邦，其中日(rì)本企業占據(jù)約70%市場份額(e)。分産品看，東(dōng)京應化在g線(xiàn)/i線和Krf光刻膠(jiāo)領域居龍頭(tou)地💰位，市場份(fen)額分别達到(dào)27.5%和🆚32.7%。JSR在Arf光刻膠(jiao)領⚽域市占率(lǜ)最高，爲25.6%。

根據(ju)富士經濟預(yu)測，2023年全球ArF、KrF膠(jiāo)産能有望達(da)到1870、3650噸，市場規(gui)模近49、28億元。日(rì)本光刻膠龍(long)頭JSR、TOK包括光刻(kè)膠在内🏒的業(yè)務毛❓利率約(yuē)40%，其中光刻膠(jiao)原料成本約(yue)占90%。

國内半導(dao)體用光刻膠(jiāo)生産企業包(bāo)括上海新陽(yang)、南大光💃🏻電🔱、晶(jīng)🤟瑞股份、北京(jīng)科華、恒坤股(gǔ)份。目前隻有(yǒu)北京科華、晶(jing)💘瑞股份具📞備(bèi)量産KrF光刻膠(jiao)能力，北京科(kē)華📧産品已爲(wei)中芯國際供(gong)貨。上海新陽(yang)在建的19000噸/年(nián)ArF（幹法）光刻膠(jiao)項目預計🈲2022年(nian)達産。

 

面闆光(guāng)刻膠

光刻膠(jiao)是LCD面闆制造(zao)的關鍵材料(liào)，根據使用對(dui)象的不同👨‍❤️‍👨，又(yòu)可分爲RGB膠、BM膠(jiao)、OC膠、PS膠、TFT膠等。

面(miàn)闆光刻膠主(zhǔ)要包括TFT配線(xiàn)用光刻膠、LCD/TP襯(chen)墊料光刻⭐膠(jiāo)、彩色🆚光刻膠(jiao)及黑色光刻(ke)膠四大類别(bié)。其中TFT配線用(yòng)光刻膠用于(yú)對ITO布💯線，LCD/TP沉澱(dian)料光刻膠用(yong)于使LCD兩個玻(bo)璃基闆間的(de)液晶材料厚(hòu)度保持恒定(dìng)。彩色光刻膠(jiāo)及黑色光刻(kè)膠可賦予彩(cǎi)色濾光片顯(xian)色功能。

面闆(pan)光刻膠市場(chang)需要構成穩(wen)定，彩色光刻(kè)膠需求量領(lǐng)🌈先💃，預計2022年全(quán)球銷售量将(jiang)達22900噸，銷售額(é)将達8.77億美元(yuan)🏃‍♂️。

TFT面闆用光刻(kè)膠、LCD/TP襯墊料光(guāng)刻膠、黑色光(guang)刻膠銷售額(e)2022年預計🌈分别(bie)達到3.21億美元(yuan)、2.51億美元、1.99億美(měi)元。

根據智研(yan)咨詢測算，2020年(nian)全球面闆光(guang)刻膠市場規(gui)模将👄達到🐉167億(yì)⭐人民币，增速(su)維持在4%左右(you)。根據我們的(de)測算，到2025年光(guāng)刻膠市場♌規(gui)模♻️将達到203億(yì)人民币。其中(zhōng)，伴随LCD産業中(zhōng)心的♌轉移，我(wǒ)國LCD光刻膠市(shi)場規模及國(guó)産🍓化率有望(wàng)🈚逐步提升。

 

PCB用(yong)光刻膠

PCB光刻(kè)膠可根據塗(tu)布方式分爲(wei)UV固化油墨和(hé)UV噴塗油墨。目(mù)🤟前國内PCB油墨(mo)供應商已逐(zhu)步實現國産(chan)替代，容大感(gǎn)光、廣信材料(liao)等企業已掌(zhang)握PCB油墨關鍵(jian)技術。

國内對(duì)TFT光刻膠和半(bàn)導體光刻膠(jiao)仍在起步探(tan)索階段。晶瑞(ruì)🥰股份、雅克科(kē)技、永太科技(jì)、容大感光、欣(xīn)奕華、中電彩(cai)虹、飛凱材料(liào)在TFT光刻膠領(lǐng)域均有布局(ju)，其中飛凱材(cai)料、北旭🏃電子(zǐ)規🏒劃産能🔞高(gāo)達5000噸/年，雅克(kè)科技通過收(shōu)購LG化學下屬(shu)彩色光刻膠(jiāo)事業部切入(ru)此市場，在渠(qu)道和技術方(fang)面具🔞備優勢(shì)。

光刻膠等技(ji)術壁壘極高(gao)的行業，實現(xiàn)技術層面的(de)♌突破🌈是基礎(chǔ)🍓、其次，需不斷(duan)改進工藝，滿(man)足半導體行(háng)業快速發展(zhǎn)的需要。

由于(yu)光刻膠等行(háng)業認證時間(jian)較長，客戶不(bú)會輕易更💜換(huàn)供應商，因此(cǐ)進入主流供(gòng)應鏈是極其(qi)必要的。國内(nei)光刻膠生💯産(chan)商未來有望(wàng)把握中國半(bàn)導體行業進(jìn)口🍓替代契機(ji)，實現✊快速發(fā)展。

 

◆ 資料來源(yuan)：電子材料圈(quan)

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